■主要国産CMM機種での検査カバー率 ※検査カバー率＝D-MAS検査長÷その方向での測定可能範囲
■マスターボール仕様
素材：窒化珪素
サイズ：φ15/16イン(23.81mm)
熱膨張係数：3.0(10-6/K)
真球度：5等級(0.13μm未満) |
DimenisonMasterは複数のマスターボールの中心間距離を用いた検査方式を採用しています。この検査方式は長く業界で実績があり、現在、ISO10360シリーズでの規格採用を受け、その翻訳版にあたるJIS B 7440において採用準備が進められています。
あくまで独立した幾何形状である「球」だけを用いた評価方法のため、検査結果では
ボール以外の部位の幾何学的な精度や、校正時(値付け時)及び評価時におけるの基準座標系設定の誤差(アライメント誤差)の影響を完全に無視することできます。
結果として、従来の並行端面を用いた検査に比べ、より安定した検査を得られます。
(当社内検証より)
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ボールを用いることで、傾斜側のマスターに対しても仰角0°回転角0°の1つのプローブ姿勢で検査が可能になります。
キャリブレーション時間が最低限になり検査時間が短縮されます。（Z軸方向検査は仰角90°姿勢を使用します） |
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■艶なしボール仕様
素材：SUJ2+窒化チタンコーティング
サイズ：φ24mm
熱膨張係数：10.0(10-6/K)
真球度：1μ未満
表面粗度：0.2μRa |
普及が進む非接触タイプの測定機向けに、レーザー検出が確実にできる表面の艶をおさえ、色を検出しやすいものに変更した金属製ボールへの差し替えが可能です。
※非接触用ボールを装着したマスターを、接触式測定の検査に用いることも可能です。
(若干の検査精度が低下します。)
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■セラミック材の仕様
熱膨張係数：0.05(10-6/K)以下
密度：2.5g/cm3
(アルミより軽量)
ヤング率：130GPs
(アルミ比1.8倍)
曲げ強度:210MPa
(ｾﾞﾛ膨張ｶﾞﾗｽ比2倍)
破壊靱性：1.2MPaｍ1/2
(ｾﾞﾛ膨張ｶﾞﾗｽ比1.5倍)
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DimensionMasterの構造部はすべて超低膨張セラミックを採用しています。ボール方式によって、構造部だけに限定した採用が可能となり。これまで難しかった超低膨張材マスターの本格的な市販化を実現しました。
■低膨張素材とは(従来)
一般に熱膨張係数1.0(10-6/K)以下を示し、その機能性から基準器用素材として採用されてきた、主にガラス系の素材。一部の高精度測定機の校正では用いられているものの、その価格や取扱いの難しさから、市場への普及は進んでいない。
■DimensionMaster採用のセラミック材
ガラス系素材に比べ剛性に優れ経年安定性にも優れた新素材。熱膨張係数は0.05(10-6/K)以下で実用温度20℃付近では、ほぼ0膨張となる。 |
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従来の基準器での検査(特に温度ならし時間が確保できない日常検査)においては「基準器の温度に関連する誤差」は検査の信頼性を損なう最も大きな問題でした。(実際にその誤差量は大きい)DimensionMasterはその問題をほぼ完全に解消しています。
■基準器温度に関連する誤差の内訳
1.基準器の膨張係数の不確かさ、膨張の不均一性による誤差
2.基準器温度との環境温度の差、熱分布の不均一性による誤差
3.ワーク温度センサーの誤差
■誤差の比較グラフ
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