三次元測定機出張校正（点検）サービス｜校正証明書&トレーサビリティー体系図付
基準器とその精度

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三次元測定機自主点検マスター&システム
市販版三次元測定機
日常精度点検キット

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

DimensionMater校正証明書
(独)産業技術
総合研究所発行
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高真球マスターボールと超低膨張新素材で構成されたオリジナル高精度基準器

高真球マスターボールを採用

高真球マスターボール

基準器には高真球かつ熱膨張性に優れた
セラミック製マスターボールを採用。

■マスターボール仕様
　 素材：窒化珪素
　 サイズ：φ15/16インチ(23.81mm)
　 熱膨張係数：3.0(10-6/K)
　 真球度：5等級(0.13μm未満)

 

 

独自設計の固定方法で、ボール自体の熱膨

独立した幾何形状である「球」だけを用いた評価のため、ワークの全体の幾何学的な
精度が不問となり、評価時の基準座標のばらつき(アライメント誤差)の影響が排除
されます。

ワークの形状精度や、評価時

 

プローブ姿勢1つで全体評価が可能に→精度UP→短時間化

高真球マスターボール

ボールを用いた検査では、傾いたマスター
に対しても仰角0°回転角0°の1つのプロー
ブ姿勢で検査が可能になります。
複数のプローブ姿勢を使用する既存検査法
でに比べ、姿勢間の再現性誤差がなくなり、
検査時間も短縮されます。
※Z軸方向のみ仰角90°姿勢を使用します。

 

超低膨張(膨張係数0.0510-6/K以下)素材「ZEROセラ」を採用

高真球マスターボール

基準器の主部(スケール部)と、マスター
ボールを固定するピンには、熱膨張が極
めて少ない特殊セラミックを採用してい
ます。

■低膨張セラミック仕様
　 熱膨張係数：0.05(10-6/K)以下
　 ※常温域(20°付近)では実質0膨張
　 密度：2.5g/cm3 (アルミより軽量)

 

熱膨張率グラフ

 

素材間熱膨張比較図

温度慣らし時間を大幅削減

既存の鋼製基準器で約8時間を要していた現場環境温度への慣らし時間を約30分に
大幅削減でき、基準器の当日搬入や、複数の現場環境移動した検査を可能にします。
※現場で基準器温度を測定し、規定温度差内になった時点で検査を開始します。

 

温度膨張のムラ、歪、不確かさの削減

基準器の部位間の温度差(ムラ）や、構造に由来する不均一な膨張(歪み)などが極め
て少なく、温度に由来する検査精度の誤差(不確かさ)が削減されます。

 

軽量

アルミより軽量な基準器は取扱い易く、検査時間の短縮に繋がっています。

 

 

(独)産業技術総合研究所による高精度校正(値付け)

高真球マスターボール

▲産総研での校正の様子

基準器自体の校正は長さの国家標準の
提供元(産総研)で直接実施しています。

■基準器校正の仕様
校正元： (独)産業技術総合研究所
　　 　　　　　　　　計量標準総合センター
校正設備：ステップゲージ(参照標準)
三次元座標測定機(間接)
校正方法：参照標準比較補正法

 

JIS指定基準器とのトレーサビリティー体系の比較(簡易図)

 

JIS指定基準器との校正精度(不確かさ)の比較表

 

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